傾角傳感器又稱作傾斜儀、測斜儀、水平儀、傾角計(jì)，常用于系統(tǒng)的水平角度變化測量，此類傳感器過去只是簡單的水泡水平儀，隨著自動化和電子測量技術(shù)的發(fā)展，傾角傳感器的種類也逐漸增多，從工作原理上可分為“固體擺”式、“液體擺”式、“氣體擺”三種傾角傳感器，下面我們了解一下它們的工作原理。
1、固體擺式傾角傳感器
固體擺在設(shè)計(jì)中廣泛采用力平衡式伺服系統(tǒng)，如圖所示，其由擺錘、擺線、支架組成， 擺錘受重力G和擺拉力T的作用，其合外力F =G sinθ=mg sinθ。其中，θ為擺線與垂直方向的夾角。在小角度范圍內(nèi)測量時(shí)，可以認(rèn)為F與θ成線性關(guān)系，應(yīng)變式傾角傳感器就基于此原理。
2、液體擺式傾角傳感器
液體擺的結(jié)構(gòu)原理是在玻璃殼體內(nèi)裝有導(dǎo)電液，并有三根鉑電極和外部相連接，三根電極相互平行且間距相等，如圖所示。當(dāng)殼體水平時(shí)，電極插入導(dǎo)電液的深度相同。如果在兩根電極之間加上幅值相等的交流電壓時(shí)，電極之間會形成離子電流，兩根電極之間的液體相當(dāng)于兩個(gè)電阻RI和RIII。若液體擺水平時(shí)，則RI＝RIII。
當(dāng)玻璃殼體傾斜時(shí)，電極間的導(dǎo)電液不相等，三根電極浸入液體的深度也發(fā)生變化，但中間電極浸入深度基本保持不變。左邊電極浸入深度小，則導(dǎo)電液減少，導(dǎo)電的離子數(shù)減少，電阻RI，相對極則導(dǎo)電液增加，導(dǎo)電的離子數(shù)增加，而使電阻RIII 減少，即RI＞RIII。反之，若傾斜方向相反，則RI＜RIII。
在液體擺的應(yīng)用中也有根據(jù)液體位置變化引起應(yīng)變片的變化，從而引起輸出電信號變化而感知傾角的變化。在實(shí)用中除此類型外，還有在電解質(zhì)溶液中留下一氣泡，當(dāng)裝置傾斜時(shí)氣泡會運(yùn)動使電容發(fā)生變化而感應(yīng)出傾角的“液體擺”。
3、氣體擺式傾角傳感器
“氣體擺”式慣性元件由密閉腔體、氣體和熱線組成，當(dāng)腔體所在平面相對水平面傾斜或腔體受到加速度的作用時(shí)，熱線的阻值發(fā)生變化，并且熱線阻值的變化是角度q或加速度的函數(shù)，因而也具有擺的效應(yīng)。其中熱線阻值的變化是氣體與熱線之間的能量交換引起的。
“氣體擺”式慣性器件的敏感機(jī)理基于密閉腔體中的能量傳遞，在密閉腔體中有氣體和熱線，熱線是熱源。當(dāng)裝置通電時(shí)，對氣體加熱。在熱線能量交換中對流是主要形式。
氣體擺式檢測器件的核心敏感元件為熱線。電流流過熱線，熱線產(chǎn)生熱量，使熱線保持一定的溫度。熱線的溫度高于它周圍氣體的溫度，動能增加，所以氣體向上流動。在平衡狀態(tài)時(shí)，如圖4(a)所示，熱線處于同一水平面上，上升氣流穿過它們的速度相同，即V1=V1′，這時(shí)，氣流對熱線的影響相同，由式(7)可知，流過熱線的電流也相同，電橋平衡。當(dāng)密閉腔體傾斜時(shí)，熱線相對水平面的高度發(fā)生了變化，如圖4(b)所示，因?yàn)槊荛]腔體中氣體的流動是連續(xù)的，所以熱氣流在向上運(yùn)動的過程中，依次經(jīng)過下部和上部的熱線。若忽略氣體上升過程中克服重力的能量損失，則穿過上部熱線的氣流已經(jīng)與下部熱線的產(chǎn)生熱交換，使穿過兩根熱線時(shí)的氣流速度不同，這時(shí)V2¢>V2，因此流過兩根熱線的電流也會發(fā)生相應(yīng)的變化，所以電橋失去平衡，輸出一個(gè)電信號。傾斜角度不同，輸出的電信號也不同。
固、液、氣體擺性能比較
就基于固體擺、液體擺及氣體擺原理研制的傾角傳感器而言，它們各有所長。在重力場中，固體擺的敏感質(zhì)量是擺錘質(zhì)量，液體擺的敏感質(zhì)量是電解液，而氣體擺的敏感質(zhì)量是氣體。
氣體是密封腔體內(nèi)的運(yùn)動體，它的質(zhì)量較小，在大沖擊或高過載時(shí)產(chǎn)生的慣性力也很小，所以具有較強(qiáng)的抗振動或沖擊能力。但氣體運(yùn)動控制較為復(fù)雜，影響其運(yùn)動的因素較多，其精度無法達(dá)到軍用武器系統(tǒng)的要求。
固體擺傾角傳感器有明確的擺長和擺心，其機(jī)理基本上與加速度傳感器相同。在實(shí)用中產(chǎn)品類型較多如電磁擺式，其產(chǎn)品測量范圍、精度及抗過載能力較高，在武器系統(tǒng)中應(yīng)用也較為廣泛。
液體擺傾角傳感器介于兩者之間，但系統(tǒng)穩(wěn)定，在高精度系統(tǒng)中，應(yīng)用較為廣泛，且國內(nèi)外產(chǎn)品多為此類。
目前，傾角傳感器成為橋梁架設(shè)、鐵路鋪設(shè)、土木工程、石油鉆井、航空航海、工業(yè)自動化、智能平臺、機(jī)械加工等領(lǐng)域不可缺少的重要測量工具。
